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硅压阻式扩散硅压力传感器构造与原理

作者:gengxin 时间:2018-11-13 10:03

   硅(silicon)压阻式扩散(diffusion)硅压力传感器(transducer)是采用精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有比较高高的测量精度(精确度)、较高低的功耗和高低的成本(Cost)。差压变送器的主要作用把压力信号传到电子设备,进而在计算机显示压力其原理大致是:将水压这种压力的力学信号转变成电流(4-20mA)这样的电子信号压力和电压或电流大小成线性关系,一般是正比关系。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为,几乎不耗电。

  

 

  扩散(diffusion)硅(silicon)压力变送器_产品(Product)实拍图_科技系列(series)硅压阻式扩散硅压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,采用科技自主研发(研制开发)技术(Technology)直接将四个精密半导体应变片刻制在其表面应力高处,组成惠斯顿测量(cè liáng)电桥,作为力电变换测量电路(Electric circuit),将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度(精确度)能达0.25-0.5%FS。

  压力变送器厂家是用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度和压力,然后将压力信号转变成4~20mADC信号输出。硅压阻式扩散硅压力传感器上下二层是玻璃材质体,中间是硅片,硅片中部做成应力杯,其应力硅薄膜上部有真空腔,使之成为一个典型的高压(gāo yā)扩散硅压力传感器。

  应力硅薄膜与真空腔接触(touch)这面经光刻生成电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中,应力硅薄膜会因受外力作用(role)而微微向上鼓起,发生弹性(Elasticity)变形,四个电阻应变片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡,电桥输(shū)出与压力成正比的电压(voltage)信号。

  扩散硅(silicon)压力(pressure)传感器的压力直接作用(role)于传感器的膜片上,使膜片产生与介质(起决定作用的物质)压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测(检查并测试)这变化,并转换(conversion)输(shū)出一个对应于这高压(gāo yā)力的标准测量信号。压力变送器是指以输出为标准信号的压力传感器,是一种接受压力变量按比例转换为标准输出信号的仪表。它能将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号,以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。